人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
350-354,364
,共6页
陈江恩%刘保亭%孙杰%郭延岭%马蕾%娄建忠%彭英才
陳江恩%劉保亭%孫傑%郭延嶺%馬蕾%婁建忠%彭英纔
진강은%류보정%손걸%곽연령%마뢰%루건충%팽영재
铁电电容器%PZT%外延薄膜%导电机制
鐵電電容器%PZT%外延薄膜%導電機製
철전전용기%PZT%외연박막%도전궤제
采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法,在SrTiO3(001)衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm) (LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结.X射线衍射结果表明:LSCO和PZT薄膜均为外延结构.在5 V的外加电压下, LSCO/PZT/LSCO电容器具有较低的矫顽电压(0.49 V),较高的剩余极化强度(41.7 μC/cm2 )和较低的漏电流密度(1.97×10-5 A/cm2),LSCO/PZT/LSCO电容器的最大介电常数为1073.漏电流的分析表明:当外加电压小于0.6 V时,电容器满足欧姆导电机制;当外加电压大于0.6 V时,符合空间电荷限制电流(SCLC)导电机制.
採用磁控濺射法和脈遲激光沉積法,在SrTiO3(001)襯底上製備瞭La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm) (LSCO/PZT/LSCO)鐵電電容器異質結.X射線衍射結果錶明:LSCO和PZT薄膜均為外延結構.在5 V的外加電壓下, LSCO/PZT/LSCO電容器具有較低的矯頑電壓(0.49 V),較高的剩餘極化彊度(41.7 μC/cm2 )和較低的漏電流密度(1.97×10-5 A/cm2),LSCO/PZT/LSCO電容器的最大介電常數為1073.漏電流的分析錶明:噹外加電壓小于0.6 V時,電容器滿足歐姆導電機製;噹外加電壓大于0.6 V時,符閤空間電荷限製電流(SCLC)導電機製.
채용자공천사법화맥충격광침적법,재SrTiO3(001)츤저상제비료La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm) (LSCO/PZT/LSCO)철전전용기이질결.X사선연사결과표명:LSCO화PZT박막균위외연결구.재5 V적외가전압하, LSCO/PZT/LSCO전용기구유교저적교완전압(0.49 V),교고적잉여겁화강도(41.7 μC/cm2 )화교저적루전류밀도(1.97×10-5 A/cm2),LSCO/PZT/LSCO전용기적최대개전상수위1073.루전류적분석표명:당외가전압소우0.6 V시,전용기만족구모도전궤제;당외가전압대우0.6 V시,부합공간전하한제전류(SCLC)도전궤제.
