ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正
ECR등리자체중전자능량분석기실험곡선적수정
Data Fitting of Electron Energy Analyzer for Electron Cyclotron Resonance Plasma
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2002年 3期 231-233 ,共3页

    温晓辉%詹如娟%张锐

    온효휘%첨여연%장예

    电子能量分析器%曲线拟合%电子回旋共振 電子能量分析器%麯線擬閤%電子迴鏇共振
    전자능량분석기%곡선의합%전자회선공진
    对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法
    대전자회선공진등리자체중사용적전자능량분석기실험곡선편리이상정황적궤충현상진행료토론,병제출료상응적수정화의합적방법
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