光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
1期
1-4
,共4页
万勇建%范斌%袁家虎%杨力%郑耀%曾志革
萬勇建%範斌%袁傢虎%楊力%鄭耀%曾誌革
만용건%범빈%원가호%양력%정요%증지혁
在线检测%细磨%非球面镜%数控机床
在線檢測%細磨%非毬麵鏡%數控機床
재선검측%세마%비구면경%수공궤상
提出了一种在大型非球面镜细磨加工阶段使用的低成本在线检测技术.该技术将高精度测长装置集成在普通数控加工机床上,构成在线测量系统.通过测量工件面形上的各点空间坐标,并将测量数据经过坐标变换、误差补偿等处理,实现在线面形测量.与Leize三坐标测量机对比测量同一个面形,二者的测量结果误差P-V为4.0μm,RMS为0.8μm.在普通数控细磨机床上实现了在线面形测量且测量精度优于5μm.利用此系统,实现了细磨加工过程的镜面面形在线检测.
提齣瞭一種在大型非毬麵鏡細磨加工階段使用的低成本在線檢測技術.該技術將高精度測長裝置集成在普通數控加工機床上,構成在線測量繫統.通過測量工件麵形上的各點空間坐標,併將測量數據經過坐標變換、誤差補償等處理,實現在線麵形測量.與Leize三坐標測量機對比測量同一箇麵形,二者的測量結果誤差P-V為4.0μm,RMS為0.8μm.在普通數控細磨機床上實現瞭在線麵形測量且測量精度優于5μm.利用此繫統,實現瞭細磨加工過程的鏡麵麵形在線檢測.
제출료일충재대형비구면경세마가공계단사용적저성본재선검측기술.해기술장고정도측장장치집성재보통수공가공궤상상,구성재선측량계통.통과측량공건면형상적각점공간좌표,병장측량수거경과좌표변환、오차보상등처리,실현재선면형측량.여Leize삼좌표측량궤대비측량동일개면형,이자적측량결과오차P-V위4.0μm,RMS위0.8μm.재보통수공세마궤상상실현료재선면형측량차측량정도우우5μm.이용차계통,실현료세마가공과정적경면면형재선검측.
