工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2006年
5期
16-19
,共4页
陈淑花%潘应君%陈大凯%张细菊%吴新杰
陳淑花%潘應君%陳大凱%張細菊%吳新傑
진숙화%반응군%진대개%장세국%오신걸
刀具%TiN/AlN纳米多层膜%多弧离子镀%耐腐蚀
刀具%TiN/AlN納米多層膜%多弧離子鍍%耐腐蝕
도구%TiN/AlN납미다층막%다호리자도%내부식
采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,随着调制周期的减小,稳定态六方AlN相逐渐转变成亚稳态立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格结构为主的超硬薄膜.与标准图谱的对比可知,TiN/AlN超晶格是AlN在模板立方TiN材料的影响下,在TiN层上以亚稳态相立方结构外延生长所形成.试验表明TiN/AlN薄膜具有良好的耐腐蚀性能以及使用寿命.
採用脈遲多弧離子鍍技術製備TiN/AlN納米多層膜,隨著調製週期的減小,穩定態六方AlN相逐漸轉變成亞穩態立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格結構為主的超硬薄膜.與標準圖譜的對比可知,TiN/AlN超晶格是AlN在模闆立方TiN材料的影響下,在TiN層上以亞穩態相立方結構外延生長所形成.試驗錶明TiN/AlN薄膜具有良好的耐腐蝕性能以及使用壽命.
채용맥충다호리자도기술제비TiN/AlN납미다층막,수착조제주기적감소,은정태륙방AlN상축점전변성아은태립방AlN상,형성이TiN/AlN초정격결구위주적초경박막.여표준도보적대비가지,TiN/AlN초정격시AlN재모판립방TiN재료적영향하,재TiN층상이아은태상립방결구외연생장소형성.시험표명TiN/AlN박막구유량호적내부식성능이급사용수명.
