微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
1期
46-50
,共5页
潘欣欣%陈翔%陈迪%庄贵生
潘訢訢%陳翔%陳迪%莊貴生
반흔흔%진상%진적%장귀생
PDMS%模具%热模压%微流控
PDMS%模具%熱模壓%微流控
PDMS%모구%열모압%미류공
介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法.通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具.将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构.相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点.另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究.
介紹瞭一種利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型來製備模具,再進行熱模壓製造微流控通道結構的方法.通過在硅片上鏇塗SU-8膠進行光刻顯影,得到結構模版,在此模版上澆註PDMS,脫模即得到PDMS模具.將PDMS模具進行熱壓,成功地在聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)基片上複製瞭特定的微流控通道結構.相對于常規的硅微加工和UV-LIGA工藝製造熱模壓模具,本方法具有加工週期短、工藝簡單、成本低等優點.另外,還對溫度、壓力、時間等熱模壓的主要工藝參數進行瞭初步的優化研究.
개소료일충이용취이갑기규양완(PDMS)적쾌속성형래제비모구,재진행열모압제조미류공통도결구적방법.통과재규편상선도SU-8효진행광각현영,득도결구모판,재차모판상요주PDMS,탈모즉득도PDMS모구.장PDMS모구진행열압,성공지재취갑기병희산갑지(PMMA)기편상복제료특정적미류공통도결구.상대우상규적규미가공화UV-LIGA공예제조열모압모구,본방법구유가공주기단、공예간단、성본저등우점.령외,환대온도、압력、시간등열모압적주요공예삼수진행료초보적우화연구.
