实验室科学
實驗室科學
실험실과학
LABORATORY SCIENCE
2007年
3期
139-141
,共3页
超光滑表面%超精密加工%拟浴式抛光%单轴驱动%浮置抛光盘
超光滑錶麵%超精密加工%擬浴式拋光%單軸驅動%浮置拋光盤
초광활표면%초정밀가공%의욕식포광%단축구동%부치포광반
针对"非探针超分辨光学显微镜"对光学元件表面提出的超光滑要求,发展了一种新颖的用于超光滑表面加工的经济装置.该装置为仅用一个单轴驱动工作盘,而随动聚四氟乙烯抛光盘的拟浴式抛光系统.加工件的原子力显微镜AFM测试结果表明该装置加工出的光学表面的粗糙度可优于1 nmSq值,满足纳米分辨率光学测量系统对元件的要求及探测单个细胞或微生物样本时对载片的表面要求.
針對"非探針超分辨光學顯微鏡"對光學元件錶麵提齣的超光滑要求,髮展瞭一種新穎的用于超光滑錶麵加工的經濟裝置.該裝置為僅用一箇單軸驅動工作盤,而隨動聚四氟乙烯拋光盤的擬浴式拋光繫統.加工件的原子力顯微鏡AFM測試結果錶明該裝置加工齣的光學錶麵的粗糙度可優于1 nmSq值,滿足納米分辨率光學測量繫統對元件的要求及探測單箇細胞或微生物樣本時對載片的錶麵要求.
침대"비탐침초분변광학현미경"대광학원건표면제출적초광활요구,발전료일충신영적용우초광활표면가공적경제장치.해장치위부용일개단축구동공작반,이수동취사불을희포광반적의욕식포광계통.가공건적원자력현미경AFM측시결과표명해장치가공출적광학표면적조조도가우우1 nmSq치,만족납미분변솔광학측량계통대원건적요구급탐측단개세포혹미생물양본시대재편적표면요구.
