哈尔滨工业大学学报
哈爾濱工業大學學報
합이빈공업대학학보
JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2007年
9期
1370-1373
,共4页
揣荣岩%刘晓为%王喜莲%陈卫平%刘义波
揣榮巖%劉曉為%王喜蓮%陳衛平%劉義波
췌영암%류효위%왕희련%진위평%류의파
MEMS%阳极键合%电流模型%定量关系%点阴极
MEMS%暘極鍵閤%電流模型%定量關繫%點陰極
MEMS%양겁건합%전류모형%정량관계%점음겁
随着近年来MEMS-CAD的迅速发展,阳极键合技术作为MEMS领域的基础工艺,其模拟仿真受到了重视.本文分析现有的阳极键合电流模型产生偏差的原因,在实验基础上,给出一组定量模拟平面电极键合电流的公式.结合点电极键合的扩展模型,提出点电极键合电流的计算方法.实验证明这种方法给出的模拟公式实际反映了点电极键合电流的变化规律.
隨著近年來MEMS-CAD的迅速髮展,暘極鍵閤技術作為MEMS領域的基礎工藝,其模擬倣真受到瞭重視.本文分析現有的暘極鍵閤電流模型產生偏差的原因,在實驗基礎上,給齣一組定量模擬平麵電極鍵閤電流的公式.結閤點電極鍵閤的擴展模型,提齣點電極鍵閤電流的計算方法.實驗證明這種方法給齣的模擬公式實際反映瞭點電極鍵閤電流的變化規律.
수착근년래MEMS-CAD적신속발전,양겁건합기술작위MEMS영역적기출공예,기모의방진수도료중시.본문분석현유적양겁건합전류모형산생편차적원인,재실험기출상,급출일조정량모의평면전겁건합전류적공식.결합점전겁건합적확전모형,제출점전겁건합전류적계산방법.실험증명저충방법급출적모의공식실제반영료점전겁건합전류적변화규률.
