计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2008年
4期
297-300
,共4页
郭彤%陈津平%傅星%T. Hausotte%G. Jāger%胡小唐
郭彤%陳津平%傅星%T. Hausotte%G. Jāger%鬍小唐
곽동%진진평%부성%T. Hausotte%G. Jāger%호소당
计量学%纳米测量机%原子力显微镜%台阶高度标准
計量學%納米測量機%原子力顯微鏡%檯階高度標準
계량학%납미측량궤%원자력현미경%태계고도표준
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm × 25 am×5 mm.文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感器,通过将AFM的悬臂梁反馈控制信号引人到NMM的数字信号控制器中,NMM实现在:方向的辅助测量,这种测量模式减小了AFM的PZT扫描器固有特性对测量的影响.根据ISO 5436-1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的标准偏差为0.52 nm.
利用納米測量機(NMM)和原子力顯微鏡(AFM)實現瞭高精度的檯階高度評價,該繫統的測量範圍可以達到25 mm × 25 am×5 mm.文中描述瞭NMM和AFM的工作原理,說明瞭NMM的高精度定位性能,繫統利用NMM實現x、y方嚮的掃描,AFM測頭隻是作為零點傳感器,通過將AFM的懸臂樑反饋控製信號引人到NMM的數字信號控製器中,NMM實現在:方嚮的輔助測量,這種測量模式減小瞭AFM的PZT掃描器固有特性對測量的影響.根據ISO 5436-1:2000的評價方法對經過標定的檯階高度進行評價,14次測量的標準偏差為0.52 nm.
이용납미측량궤(NMM)화원자력현미경(AFM)실현료고정도적태계고도평개,해계통적측량범위가이체도25 mm × 25 am×5 mm.문중묘술료NMM화AFM적공작원리,설명료NMM적고정도정위성능,계통이용NMM실현x、y방향적소묘,AFM측두지시작위영점전감기,통과장AFM적현비량반궤공제신호인인도NMM적수자신호공제기중,NMM실현재:방향적보조측량,저충측량모식감소료AFM적PZT소묘기고유특성대측량적영향.근거ISO 5436-1:2000적평개방법대경과표정적태계고도진행평개,14차측량적표준편차위0.52 nm.
