苏州大学学报（自然科学版）
囌州大學學報（自然科學版）
소주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
2期
51-55
,共5页
陈浩%李金泽%厉以宇%苏晓东
陳浩%李金澤%厲以宇%囌曉東
진호%리금택%려이우%소효동
TiO2薄膜%射频磁控溅射%光催化
TiO2薄膜%射頻磁控濺射%光催化
TiO2박막%사빈자공천사%광최화
研究采用射频磁控溅射的方法在石英玻璃基片上制备TiO2薄膜的最佳工艺条件.薄膜的相组成和微观组织分别采用XRD、SEM和AFM来分析.实验表明:在450℃的基片温度下,使用0.8 Pa的工作气压和20:2的Ar:O2流量比可以获得单一锐钛矿相的TiO2薄膜.紫外光照射分解甲基橙的实验表明具有单一锐钛矿相的TiO2薄膜具有较好的光催化能力,可以有效降解有机分子.
研究採用射頻磁控濺射的方法在石英玻璃基片上製備TiO2薄膜的最佳工藝條件.薄膜的相組成和微觀組織分彆採用XRD、SEM和AFM來分析.實驗錶明:在450℃的基片溫度下,使用0.8 Pa的工作氣壓和20:2的Ar:O2流量比可以穫得單一銳鈦礦相的TiO2薄膜.紫外光照射分解甲基橙的實驗錶明具有單一銳鈦礦相的TiO2薄膜具有較好的光催化能力,可以有效降解有機分子.
연구채용사빈자공천사적방법재석영파리기편상제비TiO2박막적최가공예조건.박막적상조성화미관조직분별채용XRD、SEM화AFM래분석.실험표명:재450℃적기편온도하,사용0.8 Pa적공작기압화20:2적Ar:O2류량비가이획득단일예태광상적TiO2박막.자외광조사분해갑기등적실험표명구유단일예태광상적TiO2박막구유교호적광최화능력,가이유효강해유궤분자.
