质谱学报
質譜學報
질보학보
2011年
2期
121-128
,共8页
杨旺火%李灵锋%黄荣夫%杭纬%李宁
楊旺火%李靈鋒%黃榮伕%杭緯%李寧
양왕화%리령봉%황영부%항위%리저
太阳能级晶体硅%质谱%杂质检测
太暘能級晶體硅%質譜%雜質檢測
태양능급정체규%질보%잡질검측
太阳能级晶体硅材料中杂质的种类和含量直接影响太阳能电池的发电效率,因此硅材料中杂质含量和分布的检测至关重要.当今社会光伏产业的迅猛发展,推进了晶体硅检测技术的更新和发展.本文总结了近年来在硅材料杂质检测中所使用的方法以及这些方法的不足;比较了电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)、辉光放电质谱(GDMS)、二次离子质谱(SIMS)和激光电离质谱(LIMS)四种可用于太阳能级晶体硅检测的原理和优缺点.
太暘能級晶體硅材料中雜質的種類和含量直接影響太暘能電池的髮電效率,因此硅材料中雜質含量和分佈的檢測至關重要.噹今社會光伏產業的迅猛髮展,推進瞭晶體硅檢測技術的更新和髮展.本文總結瞭近年來在硅材料雜質檢測中所使用的方法以及這些方法的不足;比較瞭電感耦閤等離子體質譜(ICP-MS)、輝光放電質譜(GDMS)、二次離子質譜(SIMS)和激光電離質譜(LIMS)四種可用于太暘能級晶體硅檢測的原理和優缺點.
태양능급정체규재료중잡질적충류화함량직접영향태양능전지적발전효솔,인차규재료중잡질함량화분포적검측지관중요.당금사회광복산업적신맹발전,추진료정체규검측기술적경신화발전.본문총결료근년래재규재료잡질검측중소사용적방법이급저사방법적불족;비교료전감우합등리자체질보(ICP-MS)、휘광방전질보(GDMS)、이차리자질보(SIMS)화격광전리질보(LIMS)사충가용우태양능급정체규검측적원리화우결점.
