微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2002年
10期
35-39
,共5页
集成电路%计算机辅助设计%集成布线%寄生参数
集成電路%計算機輔助設計%集成佈線%寄生參數
집성전로%계산궤보조설계%집성포선%기생삼수
针对超深亚微米层次下的金属互连设计,使用Raphael(集成布线互连)仿真系统完成了互连寄生效应参数的提取.介绍了Raphael仿真系统的主要功能及基本应用,并分析了常规集成布线互连参数模型.采用二层跨越式互连结构,对寄生电阻、电容参数进行了仿真,并得到电流密度的分布结果.这些参数的提取及验证对电路的布局设计是十分重要的.
針對超深亞微米層次下的金屬互連設計,使用Raphael(集成佈線互連)倣真繫統完成瞭互連寄生效應參數的提取.介紹瞭Raphael倣真繫統的主要功能及基本應用,併分析瞭常規集成佈線互連參數模型.採用二層跨越式互連結構,對寄生電阻、電容參數進行瞭倣真,併得到電流密度的分佈結果.這些參數的提取及驗證對電路的佈跼設計是十分重要的.
침대초심아미미층차하적금속호련설계,사용Raphael(집성포선호련)방진계통완성료호련기생효응삼수적제취.개소료Raphael방진계통적주요공능급기본응용,병분석료상규집성포선호련삼수모형.채용이층과월식호련결구,대기생전조、전용삼수진행료방진,병득도전류밀도적분포결과.저사삼수적제취급험증대전로적포국설계시십분중요적.
