光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2004年
12期
12-16
,共5页
偏转器%优化设计%动态校正%电子束曝光机
偏轉器%優化設計%動態校正%電子束曝光機
편전기%우화설계%동태교정%전자속폭광궤
电子束曝光机的偏转系统控制电子束偏转扫描.像差低、偏转灵敏度高、扫描速度快是它的基本要求.对各种偏转器、偏转方式进行分析、比较,从偏转器空间场的数值计算方法、偏转系统的优化、像差校正、偏转器制作工艺、电气参数等方面阐述设计过程和工程实现上一些值得注意的问题.综合考虑偏转器和偏放电路的设计可以得到最优性能的系统.
電子束曝光機的偏轉繫統控製電子束偏轉掃描.像差低、偏轉靈敏度高、掃描速度快是它的基本要求.對各種偏轉器、偏轉方式進行分析、比較,從偏轉器空間場的數值計算方法、偏轉繫統的優化、像差校正、偏轉器製作工藝、電氣參數等方麵闡述設計過程和工程實現上一些值得註意的問題.綜閤攷慮偏轉器和偏放電路的設計可以得到最優性能的繫統.
전자속폭광궤적편전계통공제전자속편전소묘.상차저、편전령민도고、소묘속도쾌시타적기본요구.대각충편전기、편전방식진행분석、비교,종편전기공간장적수치계산방법、편전계통적우화、상차교정、편전기제작공예、전기삼수등방면천술설계과정화공정실현상일사치득주의적문제.종합고필편전기화편방전로적설계가이득도최우성능적계통.
