真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2005年
1期
34-39
,共6页
李智%崔敬忠%李冠斌%梁耀廷
李智%崔敬忠%李冠斌%樑耀廷
리지%최경충%리관빈%량요정
TixAlyNx薄膜%磁控溅射%热控
TixAlyNx薄膜%磁控濺射%熱控
TixAlyNx박막%자공천사%열공
采用反应磁控溅射技术,以Ti和Al为溅射靶材料,Ar和N2为溅射气体,在Al基底上沉积TixAlyNz热控薄膜.优化制备薄膜的最佳实验条件.对薄膜进行XRD、XPS分析及热光学测试,研究了TixAlyNz薄膜的结构特点及热光学特性.结果表明,采用独立Ti、Al靶的磁控反应溅射制备的TixAlyNz热控薄膜,通过控制薄膜厚度与组成,在忽略飞行器内部热作用的条件下其平衡温度为34℃.
採用反應磁控濺射技術,以Ti和Al為濺射靶材料,Ar和N2為濺射氣體,在Al基底上沉積TixAlyNz熱控薄膜.優化製備薄膜的最佳實驗條件.對薄膜進行XRD、XPS分析及熱光學測試,研究瞭TixAlyNz薄膜的結構特點及熱光學特性.結果錶明,採用獨立Ti、Al靶的磁控反應濺射製備的TixAlyNz熱控薄膜,通過控製薄膜厚度與組成,在忽略飛行器內部熱作用的條件下其平衡溫度為34℃.
채용반응자공천사기술,이Ti화Al위천사파재료,Ar화N2위천사기체,재Al기저상침적TixAlyNz열공박막.우화제비박막적최가실험조건.대박막진행XRD、XPS분석급열광학측시,연구료TixAlyNz박막적결구특점급열광학특성.결과표명,채용독립Ti、Al파적자공반응천사제비적TixAlyNz열공박막,통과공제박막후도여조성,재홀략비행기내부열작용적조건하기평형온도위34℃.
