人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
6期
1307-1312
,共6页
赵绪然%裴广庆%杨秋红%夏长泰%徐军
趙緒然%裴廣慶%楊鞦紅%夏長泰%徐軍
조서연%배엄경%양추홍%하장태%서군
液相外延%系统%研究进展
液相外延%繫統%研究進展
액상외연%계통%연구진전
本文介绍了液相外延技术在制备硅材料、碲镉汞材料、石榴石型单晶材料、III-V族半导体材料和其他一些无机材料方面的应用,简述了液相外延技术近十多年来在系统改善、工艺改进和相关理论研究方面的成果,并指出了液相外延技术相对于其他外延技术的优势及其发展需要克服的困难.
本文介紹瞭液相外延技術在製備硅材料、碲鎘汞材料、石榴石型單晶材料、III-V族半導體材料和其他一些無機材料方麵的應用,簡述瞭液相外延技術近十多年來在繫統改善、工藝改進和相關理論研究方麵的成果,併指齣瞭液相外延技術相對于其他外延技術的優勢及其髮展需要剋服的睏難.
본문개소료액상외연기술재제비규재료、제력홍재료、석류석형단정재료、III-V족반도체재료화기타일사무궤재료방면적응용,간술료액상외연기술근십다년래재계통개선、공예개진화상관이론연구방면적성과,병지출료액상외연기술상대우기타외연기술적우세급기발전수요극복적곤난.
