制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2009年
10期
83-85
,共3页
齐峰%陈丁%陈大川%郑阳光
齊峰%陳丁%陳大川%鄭暘光
제봉%진정%진대천%정양광
晶片%PLC%精确传输%滴胶量控制%温度控制
晶片%PLC%精確傳輸%滴膠量控製%溫度控製
정편%PLC%정학전수%적효량공제%온도공제
为了提高晶片处理实验中涂胶及软烘两操作的实验效率,减少手工操作可能带来对晶片表面的污染.系统采用机械手代替手工完成晶片在各工位之间自动化传输.硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、电磁阀等组成.详细介绍了软件控制方法,实现晶片精确传输,以及工艺参数的监控等功能.
為瞭提高晶片處理實驗中塗膠及軟烘兩操作的實驗效率,減少手工操作可能帶來對晶片錶麵的汙染.繫統採用機械手代替手工完成晶片在各工位之間自動化傳輸.硬件部分採用PLC作為控製覈心部件,由步進電機、接近開關、光電開關、熱電阻、電磁閥等組成.詳細介紹瞭軟件控製方法,實現晶片精確傳輸,以及工藝參數的鑑控等功能.
위료제고정편처리실험중도효급연홍량조작적실험효솔,감소수공조작가능대래대정편표면적오염.계통채용궤계수대체수공완성정편재각공위지간자동화전수.경건부분채용PLC작위공제핵심부건,유보진전궤、접근개관、광전개관、열전조、전자벌등조성.상세개소료연건공제방법,실현정편정학전수,이급공예삼수적감공등공능.
