现代仪器
現代儀器
현대의기
MODERN INSTRUMENTS
2010年
3期
32-33
,共2页
硅%二次离子质谱%相对灵敏度因子%磷%质量分辨率
硅%二次離子質譜%相對靈敏度因子%燐%質量分辨率
규%이차리자질보%상대령민도인자%린%질량분변솔
本文采用相对灵敏度因子法,对硅中磷含量的SIMS定量分析方法进行研究.并通过提高质量分辨率的方法降低背景,使磷的检测限达到1.0×1014 atoms/cm3,进而成为高纯硅样品中磷杂质含量的最可行的检测手段.
本文採用相對靈敏度因子法,對硅中燐含量的SIMS定量分析方法進行研究.併通過提高質量分辨率的方法降低揹景,使燐的檢測限達到1.0×1014 atoms/cm3,進而成為高純硅樣品中燐雜質含量的最可行的檢測手段.
본문채용상대령민도인자법,대규중린함량적SIMS정량분석방법진행연구.병통과제고질량분변솔적방법강저배경,사린적검측한체도1.0×1014 atoms/cm3,진이성위고순규양품중린잡질함량적최가행적검측수단.
