新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2010年
5期
107-109
,共3页
陈飞%陈良贤%郭世斌%李成明%吕反修
陳飛%陳良賢%郭世斌%李成明%呂反脩
진비%진량현%곽세빈%리성명%려반수
自支撑金刚石薄膜%断裂强度%形貌分析
自支撐金剛石薄膜%斷裂彊度%形貌分析
자지탱금강석박막%단렬강도%형모분석
金刚石薄膜以其优异的性能成为许多行业不可或缺的功能材料,但因金刚石薄膜制备质量差、不稳定,导致金刚石薄膜力学性能的研究一直处于探索阶段,没有得出系统全面的结论.本文利用金刚石力学试验机对自支撑金刚石薄膜断裂强度与薄膜沉积厚度、抛光与否之间的关系进行了研究,利用扫描电子显微镜SEM对金刚石薄膜的表面和断口形貌进行了分析.研究表明,自支撑金刚石薄膜断裂主要是解离断裂,且其断裂强度随着沉积厚度的增加而减低,自支撑金刚石薄膜是否经过抛光对其断裂强度的大小有显著影响.
金剛石薄膜以其優異的性能成為許多行業不可或缺的功能材料,但因金剛石薄膜製備質量差、不穩定,導緻金剛石薄膜力學性能的研究一直處于探索階段,沒有得齣繫統全麵的結論.本文利用金剛石力學試驗機對自支撐金剛石薄膜斷裂彊度與薄膜沉積厚度、拋光與否之間的關繫進行瞭研究,利用掃描電子顯微鏡SEM對金剛石薄膜的錶麵和斷口形貌進行瞭分析.研究錶明,自支撐金剛石薄膜斷裂主要是解離斷裂,且其斷裂彊度隨著沉積厚度的增加而減低,自支撐金剛石薄膜是否經過拋光對其斷裂彊度的大小有顯著影響.
금강석박막이기우이적성능성위허다행업불가혹결적공능재료,단인금강석박막제비질량차、불은정,도치금강석박막역학성능적연구일직처우탐색계단,몰유득출계통전면적결론.본문이용금강석역학시험궤대자지탱금강석박막단렬강도여박막침적후도、포광여부지간적관계진행료연구,이용소묘전자현미경SEM대금강석박막적표면화단구형모진행료분석.연구표명,자지탱금강석박막단렬주요시해리단렬,차기단렬강도수착침적후도적증가이감저,자지탱금강석박막시부경과포광대기단렬강도적대소유현저영향.
