微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2010年
3期
416-420
,共5页
张瑛%杨恒新%车晶%丁可柯
張瑛%楊恆新%車晶%丁可柯
장영%양항신%차정%정가가
互连线%工艺变化%随机微分方程%蒙特卡洛法
互連線%工藝變化%隨機微分方程%矇特卡洛法
호련선%공예변화%수궤미분방정%몽특잡락법
考虑互连线工艺变化的空间相关性,采用数值仿真及拟合方法,得到电气分布参数的近似表达式,建立了互连线分布参数随机模型;推导出互连线ABCD参数满足的随机微分方程组,并提出基于蒙特卡洛法的ABCD参数统计分析方法;最后,通过对ABCD参数各参量系数的正态性进行偏度-峰度检验,给出最差情况估计.实验结果表明,提出的互连线随机模型及统计分析方法可以对工艺变化下的互连线传输性能进行有效的评估.
攷慮互連線工藝變化的空間相關性,採用數值倣真及擬閤方法,得到電氣分佈參數的近似錶達式,建立瞭互連線分佈參數隨機模型;推導齣互連線ABCD參數滿足的隨機微分方程組,併提齣基于矇特卡洛法的ABCD參數統計分析方法;最後,通過對ABCD參數各參量繫數的正態性進行偏度-峰度檢驗,給齣最差情況估計.實驗結果錶明,提齣的互連線隨機模型及統計分析方法可以對工藝變化下的互連線傳輸性能進行有效的評估.
고필호련선공예변화적공간상관성,채용수치방진급의합방법,득도전기분포삼수적근사표체식,건립료호련선분포삼수수궤모형;추도출호련선ABCD삼수만족적수궤미분방정조,병제출기우몽특잡락법적ABCD삼수통계분석방법;최후,통과대ABCD삼수각삼량계수적정태성진행편도-봉도검험,급출최차정황고계.실험결과표명,제출적호련선수궤모형급통계분석방법가이대공예변화하적호련선전수성능진행유효적평고.
