MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展
MEMS가속도전감기계량검측기술적연구진전
Research Progress of Gauge Check Technology of MEMS Accelerometers
  • 万方数据
    计测技术 계측기술
    METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
    2010年 4期 5-8 ,共4页

    刘宇%鞠文斌%刘羽熙

    류우%국문빈%류우희

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    MEMS가속도전감기%계량검측%연구진전
    MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用.本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况,总结了其分类方法、工作原理及特点,并提出发展趋势.
    MEMS가속도전감기재계량검측중유착엄범적응용.본문종술료MEMS가속도전감기적발전개황,총결료기분류방법、공작원리급특점,병제출발전추세.
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