传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
8期
95-96,103
,共3页
王孝%王玉花%周善波%谢行%沈传兵
王孝%王玉花%週善波%謝行%瀋傳兵
왕효%왕옥화%주선파%사행%침전병
容栅%千分传感器%半导体硅片
容柵%韆分傳感器%半導體硅片
용책%천분전감기%반도체규편
容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001 mm.
容柵韆分傳感器廣汎應用于位移測量中,設計的容柵韆分傳感器,將普通容柵傳感器在線路闆上的刻線劃分移植到瞭半導體硅片上,利用瞭半導體的工藝技術,實現刻線劃分的高精度、高密度,從而達到普通線路闆無法達到的精度,將容柵傳感器的分辨力提高至0.001 mm.
용책천분전감기엄범응용우위이측량중,설계적용책천분전감기,장보통용책전감기재선로판상적각선화분이식도료반도체규편상,이용료반도체적공예기술,실현각선화분적고정도、고밀도,종이체도보통선로판무법체도적정도,장용책전감기적분변력제고지0.001 mm.
