传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
11期
28-30,34
,共4页
赵贵%孔德义%Juergen Brugger%陈池来%程玉鹏%李庄
趙貴%孔德義%Juergen Brugger%陳池來%程玉鵬%李莊
조귀%공덕의%Juergen Brugger%진지래%정옥붕%리장
原子力显微镜探针%电晕放电%微机电系统%ANSYS%非接触式采样
原子力顯微鏡探針%電暈放電%微機電繫統%ANSYS%非接觸式採樣
원자력현미경탐침%전훈방전%미궤전계통%ANSYS%비접촉식채양
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案.运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100 μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32 ～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性；通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础.
針對掃描探針顯微鏡與質譜聯用繫統中的採樣方式,提齣瞭利用原子力顯微鏡(AFM)探針進行電暈放電解吸附的採樣方案.運用ANSYS軟件對AFM導電探針進行瞭有限元倣真,電場分析錶明間距100 μm加1 kV高壓時的AFM探針週圍場彊在0.32 ～62.4 V/μm間,驗證瞭利用其產生電暈放電的可行性；通過實驗觀察瞭電暈放電現象及其規律,測得瞭AFM探針加高壓時的伏安特性麯線,為下一步利用AFM探針產生電暈放電進行非觸式採樣奠定瞭良好的基礎.
침대소묘탐침현미경여질보련용계통중적채양방식,제출료이용원자력현미경(AFM)탐침진행전훈방전해흡부적채양방안.운용ANSYS연건대AFM도전탐침진행료유한원방진,전장분석표명간거100 μm가1 kV고압시적AFM탐침주위장강재0.32 ～62.4 V/μm간,험증료이용기산생전훈방전적가행성；통과실험관찰료전훈방전현상급기규률,측득료AFM탐침가고압시적복안특성곡선,위하일보이용AFM탐침산생전훈방전진행비촉식채양전정료량호적기출.
