湖南有色金属
湖南有色金屬
호남유색금속
HUNAN NONFERROUS METALS
2012年
1期
46-50
,共5页
姜鹤%王东新%王燕昌%孙本双%钟景明
薑鶴%王東新%王燕昌%孫本雙%鐘景明
강학%왕동신%왕연창%손본쌍%종경명
ITO靶材%溅射%毒化
ITO靶材%濺射%毒化
ITO파재%천사%독화
为了更好的了解ITO靶材的毒化机理,分别介绍了磁控溅射技术制备薄膜的基本原理,综述了ITO靶材在溅射过程中的毒化机理研究的现状,分析了影响ITO靶材毒化现象可能的原因,详细介绍了现阶段3种解决ITO靶材毒化现象的方法:不同工艺制备ITO靶材的影响、最佳Sn掺杂量和其他元素的掺杂等的影响以及溅射工艺的影响,指出了他们各自缓解ITO靶材毒化现象的原理.并且展望了未来解决我国ITO靶材毒化问题的发展方向.为我国ITO靶材的发展提供一定的参考.
為瞭更好的瞭解ITO靶材的毒化機理,分彆介紹瞭磁控濺射技術製備薄膜的基本原理,綜述瞭ITO靶材在濺射過程中的毒化機理研究的現狀,分析瞭影響ITO靶材毒化現象可能的原因,詳細介紹瞭現階段3種解決ITO靶材毒化現象的方法:不同工藝製備ITO靶材的影響、最佳Sn摻雜量和其他元素的摻雜等的影響以及濺射工藝的影響,指齣瞭他們各自緩解ITO靶材毒化現象的原理.併且展望瞭未來解決我國ITO靶材毒化問題的髮展方嚮.為我國ITO靶材的髮展提供一定的參攷.
위료경호적료해ITO파재적독화궤리,분별개소료자공천사기술제비박막적기본원리,종술료ITO파재재천사과정중적독화궤리연구적현상,분석료영향ITO파재독화현상가능적원인,상세개소료현계단3충해결ITO파재독화현상적방법:불동공예제비ITO파재적영향、최가Sn참잡량화기타원소적참잡등적영향이급천사공예적영향,지출료타문각자완해ITO파재독화현상적원리.병차전망료미래해결아국ITO파재독화문제적발전방향.위아국ITO파재적발전제공일정적삼고.
