科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2010年
2期
20-21
,共2页
陈嘉俊%鄂世举%盛敏%沈浩杰%朱亚志
陳嘉俊%鄂世舉%盛敏%瀋浩傑%硃亞誌
진가준%악세거%성민%침호걸%주아지
微电机%超声%关键技术%影响因素
微電機%超聲%關鍵技術%影響因素
미전궤%초성%관건기술%영향인소
随着微机械、微电子技术的快速发展,毫米尺度的微型电机倍受重视,同时也对超声微电机提出了更高的技术要求.其中微型化,提高寿命及工作稳定性等是目前超声微电机研究中亟待解决的关键问题.本文分析了目前影响超声微电机应用的几个重要因素,提出了对应的关键技术及解决方案.
隨著微機械、微電子技術的快速髮展,毫米呎度的微型電機倍受重視,同時也對超聲微電機提齣瞭更高的技術要求.其中微型化,提高壽命及工作穩定性等是目前超聲微電機研究中亟待解決的關鍵問題.本文分析瞭目前影響超聲微電機應用的幾箇重要因素,提齣瞭對應的關鍵技術及解決方案.
수착미궤계、미전자기술적쾌속발전,호미척도적미형전궤배수중시,동시야대초성미전궤제출료경고적기술요구.기중미형화,제고수명급공작은정성등시목전초성미전궤연구중극대해결적관건문제.본문분석료목전영향초성미전궤응용적궤개중요인소,제출료대응적관건기술급해결방안.