微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2010年
6期
893-898
,共6页
胡尊刚%严利人%周卫%刘志弘
鬍尊剛%嚴利人%週衛%劉誌弘
호존강%엄리인%주위%류지홍
IC制造%作业调度%资源配置
IC製造%作業調度%資源配置
IC제조%작업조도%자원배치
考察和分析了当前流行的IC作业调度的算法模式.在此基础上,将制造系统中的作业调度回归到本原意义上,即制造资源优化配置必须保证制造步骤得以实施,得出既处理待加工硅片,也处理加工设备的双资源调度路线.结合判决式实例(Benchmark),给出IC制造领域中静态地匹配单机加工能力和加工片量的设备配置优化算法,以及动态地调度制造资源以维持工厂流水线式并行生产的作业调度方案,使之在机器运行效率、在制品数量和制造周期压缩、生产批的流程制造可预定性等方面,均取得最优化的效果.
攷察和分析瞭噹前流行的IC作業調度的算法模式.在此基礎上,將製造繫統中的作業調度迴歸到本原意義上,即製造資源優化配置必鬚保證製造步驟得以實施,得齣既處理待加工硅片,也處理加工設備的雙資源調度路線.結閤判決式實例(Benchmark),給齣IC製造領域中靜態地匹配單機加工能力和加工片量的設備配置優化算法,以及動態地調度製造資源以維持工廠流水線式併行生產的作業調度方案,使之在機器運行效率、在製品數量和製造週期壓縮、生產批的流程製造可預定性等方麵,均取得最優化的效果.
고찰화분석료당전류행적IC작업조도적산법모식.재차기출상,장제조계통중적작업조도회귀도본원의의상,즉제조자원우화배치필수보증제조보취득이실시,득출기처리대가공규편,야처리가공설비적쌍자원조도로선.결합판결식실례(Benchmark),급출IC제조영역중정태지필배단궤가공능력화가공편량적설비배치우화산법,이급동태지조도제조자원이유지공엄류수선식병행생산적작업조도방안,사지재궤기운행효솔、재제품수량화제조주기압축、생산비적류정제조가예정성등방면,균취득최우화적효과.