强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
4期
981-984
,共4页
伍和云%吴永刚%吕刚%凌磊婕%夏子奂%刘仁臣%唐平林
伍和雲%吳永剛%呂剛%凌磊婕%夏子奐%劉仁臣%唐平林
오화운%오영강%려강%릉뢰첩%하자환%류인신%당평림
自支撑薄膜%聚酰亚胺%聚酰胺酸%二步法%亚胺化%质量吸收系数
自支撐薄膜%聚酰亞胺%聚酰胺痠%二步法%亞胺化%質量吸收繫數
자지탱박막%취선아알%취선알산%이보법%아알화%질량흡수계수
采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜.均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜.经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200nm)/Zr(300nm)和PI(200nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9％和7.5％.
採用直流磁控濺射法製備自支撐鋯(Zr)膜,採用二步法製備聚酰亞胺(PI)膜,在Zr膜錶麵沉積PI膜得到自支撐PI/Zr複閤膜.均苯四甲痠酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反應得到聚酰胺痠(PAA),然後PAA高溫亞胺化得到PI;PI成膜時採用提拉法成膜.經國傢同步輻射實驗室計量線站測定,實際測量結果與理論分析一緻,PI膜的引入雖然會導緻自支撐薄膜透過率有所下降,但在類鎳-銀軟X射線13.9 nm波段PI(200nm)/Zr(300nm)和PI(200nm)/Zr(400 nm)自支撐薄膜的透過率仍然分彆達到14.9％和7.5％.
채용직류자공천사법제비자지탱고(Zr)막,채용이보법제비취선아알(PI)막,재Zr막표면침적PI막득도자지탱PI/Zr복합막.균분사갑산항(PMDA)화이갑기이분미(ODA)재이갑기을선알(DMAC)중반응득도취선알산(PAA),연후PAA고온아알화득도PI;PI성막시채용제랍법성막.경국가동보복사실험실계량선참측정,실제측량결과여이론분석일치,PI막적인입수연회도치자지탱박막투과솔유소하강,단재류얼-은연X사선13.9 nm파단PI(200nm)/Zr(300nm)화PI(200nm)/Zr(400 nm)자지탱박막적투과솔잉연분별체도14.9％화7.5％.
