光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
8期
1845-1851
,共7页
庄须叶%汪为民%陶逢刚%姚军%高福华
莊鬚葉%汪為民%陶逢剛%姚軍%高福華
장수협%왕위민%도봉강%요군%고복화
转轴非正交倾斜镜%二维倾斜镜%微机电系统(MEMS)
轉軸非正交傾斜鏡%二維傾斜鏡%微機電繫統(MEMS)
전축비정교경사경%이유경사경%미궤전계통(MEMS)
为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜.倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜在两个非正交轴上的偏转变形.采用三层膜的结构设计,消除了上电极应力变形对镜面平整度的影响.通过在上电极加工微小突起,减小上下电极的重叠面积,避免了倾斜镜的吸合失效;另外,上、下电极仅在其边缘处重叠,确保了静电力的有效利用.研制的倾斜镜驱动电压低,在3.5V的电压下可实现绕水平X轴0.16°、绕倾斜Y轴0.03°的偏转,Y轴与X轴成145.37°夹角.倾斜镜结构简单,可实现绕两个非正交转轴的偏转,空间适应性好,且有效避免了静电吸合对镜子的损坏.
為提高傳統二維傾斜鏡在非正交方嚮上的光轉換效率,設計併加工瞭一種轉軸非正交二維MEMS傾斜鏡.傾斜鏡上電極非對稱地固定在基底上,通過控製上、下電極的加電方式實現傾斜鏡在兩箇非正交軸上的偏轉變形.採用三層膜的結構設計,消除瞭上電極應力變形對鏡麵平整度的影響.通過在上電極加工微小突起,減小上下電極的重疊麵積,避免瞭傾斜鏡的吸閤失效;另外,上、下電極僅在其邊緣處重疊,確保瞭靜電力的有效利用.研製的傾斜鏡驅動電壓低,在3.5V的電壓下可實現繞水平X軸0.16°、繞傾斜Y軸0.03°的偏轉,Y軸與X軸成145.37°夾角.傾斜鏡結構簡單,可實現繞兩箇非正交轉軸的偏轉,空間適應性好,且有效避免瞭靜電吸閤對鏡子的損壞.
위제고전통이유경사경재비정교방향상적광전환효솔,설계병가공료일충전축비정교이유MEMS경사경.경사경상전겁비대칭지고정재기저상,통과공제상、하전겁적가전방식실현경사경재량개비정교축상적편전변형.채용삼층막적결구설계,소제료상전겁응력변형대경면평정도적영향.통과재상전겁가공미소돌기,감소상하전겁적중첩면적,피면료경사경적흡합실효;령외,상、하전겁부재기변연처중첩,학보료정전력적유효이용.연제적경사경구동전압저,재3.5V적전압하가실현요수평X축0.16°、요경사Y축0.03°적편전,Y축여X축성145.37°협각.경사경결구간단,가실현요량개비정교전축적편전,공간괄응성호,차유효피면료정전흡합대경자적손배.
