材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
6期
24-26,37
,共4页
阳生红%张曰理%王旭升%汤健
暘生紅%張曰理%王旭升%湯健
양생홍%장왈리%왕욱승%탕건
Y掺杂%ZnO透明导电薄膜%溶胶-凝胶法
Y摻雜%ZnO透明導電薄膜%溶膠-凝膠法
Y참잡%ZnO투명도전박막%용효-응효법
采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了不同掺Y浓度的ZnO透明导电薄膜.X射线衍射(XRD)表明,所制备的Y掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向.随着Y掺杂浓度的升高,(002)峰向低角度方向移动.UV透射曲线表明,薄膜在可见光区(400～800nm)的平均透过率超过85％,具有明显的紫外吸收边,通过改变Y的掺入浓度,可以使吸收边向短波方向移动,从而使薄膜的禁带宽度可调.制备的Y掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为3.68×102Ω·cm.
採用溶膠-凝膠法在玻璃襯底上製備瞭不同摻Y濃度的ZnO透明導電薄膜.X射線衍射(XRD)錶明,所製備的Y摻雜ZnO透明導電薄膜為六角纖鋅礦結構的多晶薄膜,且具有C軸擇優取嚮.隨著Y摻雜濃度的升高,(002)峰嚮低角度方嚮移動.UV透射麯線錶明,薄膜在可見光區(400～800nm)的平均透過率超過85％,具有明顯的紫外吸收邊,通過改變Y的摻入濃度,可以使吸收邊嚮短波方嚮移動,從而使薄膜的禁帶寬度可調.製備的Y摻雜ZnO薄膜電阻率最小值為3.68×102Ω·cm.
채용용효-응효법재파리츤저상제비료불동참Y농도적ZnO투명도전박막.X사선연사(XRD)표명,소제비적Y참잡ZnO투명도전박막위륙각섬자광결구적다정박막,차구유C축택우취향.수착Y참잡농도적승고,(002)봉향저각도방향이동.UV투사곡선표명,박막재가견광구(400～800nm)적평균투과솔초과85％,구유명현적자외흡수변,통과개변Y적참입농도,가이사흡수변향단파방향이동,종이사박막적금대관도가조.제비적Y참잡ZnO박막전조솔최소치위3.68×102Ω·cm.
