传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
3期
322-325
,共4页
赵兴海%李玉萍%郑英彬%高杨%贾晓慧
趙興海%李玉萍%鄭英彬%高楊%賈曉慧
조흥해%리옥평%정영빈%고양%가효혜
RF MEMS%电容式开关%聚酰亚胺%释放
RF MEMS%電容式開關%聚酰亞胺%釋放
RF MEMS%전용식개관%취선아알%석방
研究了RF MEMS开关的制造工艺流程和聚酰亚胺牺牲层的去除工艺.在开关的设计和加工中采用在信号线两侧的地线上生长一层绝缘介质层,直流偏置线生成在绝缘介质层之上,与桥的锚点相连接,实现了交直流隔离.讨论了干法刻蚀和湿法刻蚀牺牲层技术.干法刻蚀容易造成绝缘介质层的刻蚀和损伤.采用湿法刻蚀结合临界点干燥技术,可以获得理想的微梁结构.通过测试,开关样品的下拉电压为34 V～40 V,下拉距离为(1.7±0.2)μm,满足设计要求.
研究瞭RF MEMS開關的製造工藝流程和聚酰亞胺犧牲層的去除工藝.在開關的設計和加工中採用在信號線兩側的地線上生長一層絕緣介質層,直流偏置線生成在絕緣介質層之上,與橋的錨點相連接,實現瞭交直流隔離.討論瞭榦法刻蝕和濕法刻蝕犧牲層技術.榦法刻蝕容易造成絕緣介質層的刻蝕和損傷.採用濕法刻蝕結閤臨界點榦燥技術,可以穫得理想的微樑結構.通過測試,開關樣品的下拉電壓為34 V～40 V,下拉距離為(1.7±0.2)μm,滿足設計要求.
연구료RF MEMS개관적제조공예류정화취선아알희생층적거제공예.재개관적설계화가공중채용재신호선량측적지선상생장일층절연개질층,직류편치선생성재절연개질층지상,여교적묘점상련접,실현료교직류격리.토론료간법각식화습법각식희생층기술.간법각식용역조성절연개질층적각식화손상.채용습법각식결합림계점간조기술,가이획득이상적미량결구.통과측시,개관양품적하랍전압위34 V～40 V,하랍거리위(1.7±0.2)μm,만족설계요구.
