应用科技
應用科技
응용과기
YING YONG KE JI
2012年
2期
80-84
,共5页
磁控溅射%透明导电薄膜%ZAO/Cu/ZAO多层膜%光电特性
磁控濺射%透明導電薄膜%ZAO/Cu/ZAO多層膜%光電特性
자공천사%투명도전박막%ZAO/Cu/ZAO다층막%광전특성
采用直流磁控溅射法制备了ZAO/Cu/ZAO多层透明导电薄膜,研究了参铝氧化锌(ZAO)薄膜厚度对多层膜晶体结构和光电特性的影响.用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计及四探针对样品的晶体结构与光电性能等进行了表征,结果表明,多层膜的平均透过率最高达86％,方块电阻达9Ω/sq; ZAO膜层厚度对多层膜的导电性能影响很小,但严重影响可见光透过率；多层膜中的ZAO层仍呈ZnO晶态结构,且具有明显的c轴取向特征,这种三明治结构是一种性能优良的太阳能透明导电层候选材料.
採用直流磁控濺射法製備瞭ZAO/Cu/ZAO多層透明導電薄膜,研究瞭參鋁氧化鋅(ZAO)薄膜厚度對多層膜晶體結構和光電特性的影響.用X射線衍射儀、原子力顯微鏡、紫外-可見光分光光度計及四探針對樣品的晶體結構與光電性能等進行瞭錶徵,結果錶明,多層膜的平均透過率最高達86％,方塊電阻達9Ω/sq; ZAO膜層厚度對多層膜的導電性能影響很小,但嚴重影響可見光透過率；多層膜中的ZAO層仍呈ZnO晶態結構,且具有明顯的c軸取嚮特徵,這種三明治結構是一種性能優良的太暘能透明導電層候選材料.
채용직류자공천사법제비료ZAO/Cu/ZAO다층투명도전박막,연구료삼려양화자(ZAO)박막후도대다층막정체결구화광전특성적영향.용X사선연사의、원자력현미경、자외-가견광분광광도계급사탐침대양품적정체결구여광전성능등진행료표정,결과표명,다층막적평균투과솔최고체86％,방괴전조체9Ω/sq; ZAO막층후도대다층막적도전성능영향흔소,단엄중영향가견광투과솔；다층막중적ZAO층잉정ZnO정태결구,차구유명현적c축취향특정,저충삼명치결구시일충성능우량적태양능투명도전층후선재료.
