电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2012年
4期
599-604
,共6页
王巍%邹龙庆%徐华%李搏%贾培发%李垒
王巍%鄒龍慶%徐華%李搏%賈培髮%李壘
왕외%추룡경%서화%리박%가배발%리루
功能仿真%物理气相沉积系统%半导体工艺设备%SEMI标准
功能倣真%物理氣相沉積繫統%半導體工藝設備%SEMI標準
공능방진%물리기상침적계통%반도체공예설비%SEMI표준
设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性.在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证.该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析.
設計實現瞭一箇基于SEMI標準的半導體工藝設備倣真平檯,該平檯具有通用可配置特性.在該平檯的基礎上,構建瞭一套基于SEMI標準的氣路功能倣真繫統,該氣路倣真繫統包含瞭功能層、邏輯層和外部通信接口層,既能滿足單獨設備的功能倣真需求,也能對整箇繫統的功能進行倣真驗證.該繫統實現瞭對物理氣相沉積(PVD)繫統中,氣路中閥門的閉閤動作及氣流變化等的實時倣真分析.
설계실현료일개기우SEMI표준적반도체공예설비방진평태,해평태구유통용가배치특성.재해평태적기출상,구건료일투기우SEMI표준적기로공능방진계통,해기로방진계통포함료공능층、라집층화외부통신접구층,기능만족단독설비적공능방진수구,야능대정개계통적공능진행방진험증.해계통실현료대물리기상침적(PVD)계통중,기로중벌문적폐합동작급기류변화등적실시방진분석.
