帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析
모층대겁자외다층막반사특성영향분석
Analysis of the reflective performance of EUV multilayer under the influence of capping layer
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2004年 7期 2368-2372 ,共5页

    王洪昌%王占山%李佛生%秦树基%杜芸%王利%张众%陈玲燕

    왕홍창%왕점산%리불생%진수기%두예%왕리%장음%진령연

    多层膜%反射率%帽层%极紫外 多層膜%反射率%帽層%極紫外
    다층막%반사솔%모층%겁자외
    介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作.计算了在13.9nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高.分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况.
    개소료재겁자외파단,이용모층재료래감소다층막반사경인외부배경간우이조성적반사솔강저,사다층막광학원건능구장시간은정공작.계산료재13.9nm파장처Mo/Si겁자외다층막반사경재표면도제불동모층재료시적이론최대반사솔,이용단순형조우법,대모층화다층막적주기후도진행우화,동시파분층이론용우다층막모층우화,가사다층막적반사솔득도진일보제고.분석료재가입모층전후다층막외층전장강도적분포변화정황.
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