真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
93-97
,共5页
激光%减薄%薄膜%石英晶体谐振器
激光%減薄%薄膜%石英晶體諧振器
격광%감박%박막%석영정체해진기
本文提出了一种新颖的可精确、快速、清洁的减薄薄膜的技术--真空激光减薄技术.即指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,调节到适当的能量密度,对真空环境中的薄膜层进行高速扫描,从而减薄膜层.实验中,将此种技术对石英晶片表面膜层进行减薄.根据石英晶振谐振频率与其表面膜层厚度之间的反比关系,来间接测量激光对于石英晶振的膜厚减薄量.实验证实了真空激光减薄方法的可行性.膜层减薄厚度最小可达15.9 A,对应频率改变量为12 Hz,亦即频率改变量可达2 ppm以下.减薄速率可达到每秒1～2个石英晶振片.
本文提齣瞭一種新穎的可精確、快速、清潔的減薄薄膜的技術--真空激光減薄技術.即指利用激光器髮齣的脈遲激光束聚焦成直徑很小的光斑,調節到適噹的能量密度,對真空環境中的薄膜層進行高速掃描,從而減薄膜層.實驗中,將此種技術對石英晶片錶麵膜層進行減薄.根據石英晶振諧振頻率與其錶麵膜層厚度之間的反比關繫,來間接測量激光對于石英晶振的膜厚減薄量.實驗證實瞭真空激光減薄方法的可行性.膜層減薄厚度最小可達15.9 A,對應頻率改變量為12 Hz,亦即頻率改變量可達2 ppm以下.減薄速率可達到每秒1～2箇石英晶振片.
본문제출료일충신영적가정학、쾌속、청길적감박박막적기술--진공격광감박기술.즉지이용격광기발출적맥충격광속취초성직경흔소적광반,조절도괄당적능량밀도,대진공배경중적박막층진행고속소묘,종이감박막층.실험중,장차충기술대석영정편표면막층진행감박.근거석영정진해진빈솔여기표면막층후도지간적반비관계,래간접측량격광대우석영정진적막후감박량.실험증실료진공격광감박방법적가행성.막층감박후도최소가체15.9 A,대응빈솔개변량위12 Hz,역즉빈솔개변량가체2 ppm이하.감박속솔가체도매초1～2개석영정진편.
