中北大学学报（自然科学版）
中北大學學報（自然科學版）
중북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTH UNIVERSITY OF CHINA(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
3期
291-294
,共4页
GaAs/AlGaAs%薄膜%压阻特性%微加速度计%应变因子
GaAs/AlGaAs%薄膜%壓阻特性%微加速度計%應變因子
GaAs/AlGaAs%박막%압조특성%미가속도계%응변인자
为了探索新的微机电转换方法,提出一种GaAs/AlGaAs压阻薄膜结构.该结构采用分子束外延生长技术(MBE),在半绝缘GaAs衬底(001)方向上生长GaAs/Al0.4Ga0.6As半导体薄膜制备而成.利用表面微机械工艺和体微机械工艺,加工制作了基于GaAs/Al0.4Ga0.6As压敏电阻条的加速度计结构,室温条件下利用拉曼光谱仪测试系统测试了悬臂梁上压阻薄膜的应变因子.研究了该薄膜结构的压阻效应,得到Al0.4Ga0.6As的应变因子可达70,相当于AlN-GaN超晶格结构压阻的值,有望应用于新的微机械力电耦合器件中.
為瞭探索新的微機電轉換方法,提齣一種GaAs/AlGaAs壓阻薄膜結構.該結構採用分子束外延生長技術(MBE),在半絕緣GaAs襯底(001)方嚮上生長GaAs/Al0.4Ga0.6As半導體薄膜製備而成.利用錶麵微機械工藝和體微機械工藝,加工製作瞭基于GaAs/Al0.4Ga0.6As壓敏電阻條的加速度計結構,室溫條件下利用拉曼光譜儀測試繫統測試瞭懸臂樑上壓阻薄膜的應變因子.研究瞭該薄膜結構的壓阻效應,得到Al0.4Ga0.6As的應變因子可達70,相噹于AlN-GaN超晶格結構壓阻的值,有望應用于新的微機械力電耦閤器件中.
위료탐색신적미궤전전환방법,제출일충GaAs/AlGaAs압조박막결구.해결구채용분자속외연생장기술(MBE),재반절연GaAs츤저(001)방향상생장GaAs/Al0.4Ga0.6As반도체박막제비이성.이용표면미궤계공예화체미궤계공예,가공제작료기우GaAs/Al0.4Ga0.6As압민전조조적가속도계결구,실온조건하이용랍만광보의측시계통측시료현비량상압조박막적응변인자.연구료해박막결구적압조효응,득도Al0.4Ga0.6As적응변인자가체70,상당우AlN-GaN초정격결구압조적치,유망응용우신적미궤계력전우합기건중.
