控制工程
控製工程
공제공정
CONTROL ENGINEERING OF CHINA
2010年
4期
426-429,435
,共5页
张玉东%方勇纯%余冠云%吴浚瀚
張玉東%方勇純%餘冠雲%吳浚瀚
장옥동%방용순%여관운%오준한
原子力显微镜%迟滞%变比模型%逆补偿
原子力顯微鏡%遲滯%變比模型%逆補償
원자력현미경%지체%변비모형%역보상
针对迟滞非线性引起的压电扫描器定位不准确问题,提出一种基于变比模型的迟滞前馈控制方法.通过分析原子力显微镜(AFM)扫描图像数据,利用变比模型,对压电扫描器的迟滞非线性进行了准确建模,在此基础上,针对原子力显微镜纳米级表面成像过程中压电扫描器的周期性运动轨迹,设计一种基于逆的前馈控制策略.将所提出的迟滞补偿算法应用于本原CSPM5500系列原子力显微镜系统,实验结果表明这种方法明显减弱了迟滞非线性的影响,有效抑制了图像畸变,提高了AFM系统的成像性能.
針對遲滯非線性引起的壓電掃描器定位不準確問題,提齣一種基于變比模型的遲滯前饋控製方法.通過分析原子力顯微鏡(AFM)掃描圖像數據,利用變比模型,對壓電掃描器的遲滯非線性進行瞭準確建模,在此基礎上,針對原子力顯微鏡納米級錶麵成像過程中壓電掃描器的週期性運動軌跡,設計一種基于逆的前饋控製策略.將所提齣的遲滯補償算法應用于本原CSPM5500繫列原子力顯微鏡繫統,實驗結果錶明這種方法明顯減弱瞭遲滯非線性的影響,有效抑製瞭圖像畸變,提高瞭AFM繫統的成像性能.
침대지체비선성인기적압전소묘기정위불준학문제,제출일충기우변비모형적지체전궤공제방법.통과분석원자력현미경(AFM)소묘도상수거,이용변비모형,대압전소묘기적지체비선성진행료준학건모,재차기출상,침대원자력현미경납미급표면성상과정중압전소묘기적주기성운동궤적,설계일충기우역적전궤공제책략.장소제출적지체보상산법응용우본원CSPM5500계렬원자력현미경계통,실험결과표명저충방법명현감약료지체비선성적영향,유효억제료도상기변,제고료AFM계통적성상성능.
