西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2011年
1期
137-140
,共4页
黄若轩%孙鹏%朱芳萍%祁正兵%王周成
黃若軒%孫鵬%硃芳萍%祁正兵%王週成
황약헌%손붕%주방평%기정병%왕주성
氮化锆%纳米涂层%磁控溅射%取向性%硬度
氮化鋯%納米塗層%磁控濺射%取嚮性%硬度
담화고%납미도층%자공천사%취향성%경도
利用磁控溅射方法,通过改变氮气流量制备出ZrN纳米涂层,研究了氮气流量对ZrN纳米涂层结构及硬度的影响,并采用表面轮廓仪、X射线衍射仪、扫描电镜及纳米压痕表征了ZrN纳米涂层的厚度、相结构、形貌及硬度.实验结果表明,随着氮气流量增加,涂层厚度减小,涂层择优取向由(111)变为(200),对应的截面形貌由柱状结构变为非柱状结构;传统的位错滑移机制不适用于ZrN纳米涂层的塑性变形,其硬度随择优取向和晶粒尺寸的增大而增加.
利用磁控濺射方法,通過改變氮氣流量製備齣ZrN納米塗層,研究瞭氮氣流量對ZrN納米塗層結構及硬度的影響,併採用錶麵輪廓儀、X射線衍射儀、掃描電鏡及納米壓痕錶徵瞭ZrN納米塗層的厚度、相結構、形貌及硬度.實驗結果錶明,隨著氮氣流量增加,塗層厚度減小,塗層擇優取嚮由(111)變為(200),對應的截麵形貌由柱狀結構變為非柱狀結構;傳統的位錯滑移機製不適用于ZrN納米塗層的塑性變形,其硬度隨擇優取嚮和晶粒呎吋的增大而增加.
이용자공천사방법,통과개변담기류량제비출ZrN납미도층,연구료담기류량대ZrN납미도층결구급경도적영향,병채용표면륜곽의、X사선연사의、소묘전경급납미압흔표정료ZrN납미도층적후도、상결구、형모급경도.실험결과표명,수착담기류량증가,도층후도감소,도층택우취향유(111)변위(200),대응적절면형모유주상결구변위비주상결구;전통적위착활이궤제불괄용우ZrN납미도층적소성변형,기경도수택우취향화정립척촌적증대이증가.
