热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2011年
22期
123-125,129
,共4页
冶艳%鲍明东%尚魁平%葛培林
冶豔%鮑明東%尚魁平%葛培林
야염%포명동%상괴평%갈배림
CrN薄膜%OEM%硬度
CrN薄膜%OEM%硬度
CrN박막%OEM%경도
采用非平衡磁控溅射法制备CrN薄膜,研究了OEM值对CrN薄膜的硬度、成分、相结构及微观组织结构的影响.结果表明:在OEM调控下,CrN薄膜主要生成单一的CrN相；CrN薄膜硬度较高;结合强度较好;CrN薄膜呈柱状生长,生长纹理清晰,表面孔隙较少,致密度增加.
採用非平衡磁控濺射法製備CrN薄膜,研究瞭OEM值對CrN薄膜的硬度、成分、相結構及微觀組織結構的影響.結果錶明:在OEM調控下,CrN薄膜主要生成單一的CrN相；CrN薄膜硬度較高;結閤彊度較好;CrN薄膜呈柱狀生長,生長紋理清晰,錶麵孔隙較少,緻密度增加.
채용비평형자공천사법제비CrN박막,연구료OEM치대CrN박막적경도、성분、상결구급미관조직결구적영향.결과표명:재OEM조공하,CrN박막주요생성단일적CrN상；CrN박막경도교고;결합강도교호;CrN박막정주상생장,생장문리청석,표면공극교소,치밀도증가.
