表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2012年
3期
47-50
,共4页
原子层沉积%管道内壁%波导%铝
原子層沉積%管道內壁%波導%鋁
원자층침적%관도내벽%파도%려
研究分析了采用原子层沉积技术在大长径比管道内壁镀制铝膜的可行性.首先,建立了管道内壁气体吸附动力学方程,通过分离变量法解吸附动力学方程,计算出反应前驱体在管道内壁达到饱和化学吸附的时间；其次,根据铝晶胞的面心立方结构,计算出每层原子层沉积周期所镀制的铝膜厚度；最后,理论计算能实现正常波导的管道内壁所需要的铝膜最小厚度,得出原子层沉积所要循环的周期数.
研究分析瞭採用原子層沉積技術在大長徑比管道內壁鍍製鋁膜的可行性.首先,建立瞭管道內壁氣體吸附動力學方程,通過分離變量法解吸附動力學方程,計算齣反應前驅體在管道內壁達到飽和化學吸附的時間；其次,根據鋁晶胞的麵心立方結構,計算齣每層原子層沉積週期所鍍製的鋁膜厚度；最後,理論計算能實現正常波導的管道內壁所需要的鋁膜最小厚度,得齣原子層沉積所要循環的週期數.
연구분석료채용원자층침적기술재대장경비관도내벽도제려막적가행성.수선,건립료관도내벽기체흡부동역학방정,통과분리변량법해흡부동역학방정,계산출반응전구체재관도내벽체도포화화학흡부적시간；기차,근거려정포적면심립방결구,계산출매층원자층침적주기소도제적려막후도；최후,이론계산능실현정상파도적관도내벽소수요적려막최소후도,득출원자층침적소요순배적주기수.
