兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2002年
3期
30-33
,共4页
郭大刚%刘正堂%宋健全%耿东生
郭大剛%劉正堂%宋健全%耿東生
곽대강%류정당%송건전%경동생
红外窗口%硫化锌%磷化镓%磁控溅射
紅外窗口%硫化鋅%燐化鎵%磁控濺射
홍외창구%류화자%린화가%자공천사
采用磁控溅射方法成功地在ZnS衬底上制备了磷化镓(GaP)薄膜,并系统地研究了射频功率、气体流量、工作气压、衬底温度等主要工艺参数对GaP膜沉积速率的影响规律.实验表明,随着射频功率、气体流量的增加,沉积速率逐渐增大;工作气压增大,沉积速率降低;衬底温度对沉积速率影响不太明显.
採用磁控濺射方法成功地在ZnS襯底上製備瞭燐化鎵(GaP)薄膜,併繫統地研究瞭射頻功率、氣體流量、工作氣壓、襯底溫度等主要工藝參數對GaP膜沉積速率的影響規律.實驗錶明,隨著射頻功率、氣體流量的增加,沉積速率逐漸增大;工作氣壓增大,沉積速率降低;襯底溫度對沉積速率影響不太明顯.
채용자공천사방법성공지재ZnS츤저상제비료린화가(GaP)박막,병계통지연구료사빈공솔、기체류량、공작기압、츤저온도등주요공예삼수대GaP막침적속솔적영향규률.실험표명,수착사빈공솔、기체류량적증가,침적속솔축점증대;공작기압증대,침적속솔강저;츤저온도대침적속솔영향불태명현.
