哈尔滨师范大学自然科学学报
哈爾濱師範大學自然科學學報
합이빈사범대학자연과학학보
NATURAL SCIENCES JOURNAL OF HARBIN NORMAL UNIVERSITY
2003年
2期
46-49
,共4页
He-Ne激光器%测量%多端口自相干仪
He-Ne激光器%測量%多耑口自相榦儀
He-Ne격광기%측량%다단구자상간의
本文研究了以He-Ne激光器为光源用以测量物体表面粗糙度的多端口探测自相干仪,它测量信号光与参考光的相位差而不受被测物体表面反射光强度变化的影响,这种三维测试相干仪能够获得亚毫微米的纵向分辨率.
本文研究瞭以He-Ne激光器為光源用以測量物體錶麵粗糙度的多耑口探測自相榦儀,它測量信號光與參攷光的相位差而不受被測物體錶麵反射光彊度變化的影響,這種三維測試相榦儀能夠穫得亞毫微米的縱嚮分辨率.
본문연구료이He-Ne격광기위광원용이측량물체표면조조도적다단구탐측자상간의,타측량신호광여삼고광적상위차이불수피측물체표면반사광강도변화적영향,저충삼유측시상간의능구획득아호미미적종향분변솔.
