四川大学学报(工程科学版)
四川大學學報(工程科學版)
사천대학학보(공정과학판)
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY
2003年
1期
73-76
,共4页
测量系统%轮廓仪%测量控制和数据处理
測量繫統%輪廓儀%測量控製和數據處理
측량계통%륜곽의%측량공제화수거처리
分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测量物体表面微观形貌、进行多种表面粗糙度参数计算.此测量系统的分辨力优于0.1 nm,重复性2σ优于1.2 nm.
分析瞭一種同軸式激光輪廓測量繫統的工作原理,開髮齣瞭一套基于WINDOWS的測量控製軟件,使它具有自動控製、數據採集、信息處理及結果輸齣等功能,可以用三維圖形直觀顯示被測量物體錶麵微觀形貌、進行多種錶麵粗糙度參數計算.此測量繫統的分辨力優于0.1 nm,重複性2σ優于1.2 nm.
분석료일충동축식격광륜곽측량계통적공작원리,개발출료일투기우WINDOWS적측량공제연건,사타구유자동공제、수거채집、신식처리급결과수출등공능,가이용삼유도형직관현시피측량물체표면미관형모、진행다충표면조조도삼수계산.차측량계통적분변력우우0.1 nm,중복성2σ우우1.2 nm.
