应用声学
應用聲學
응용성학
APPLIED ACOUSTICS
2003年
6期
1-5
,共5页
谐振器%SH型声表面波%端面反射
諧振器%SH型聲錶麵波%耑麵反射
해진기%SH형성표면파%단면반사
传统声表面波谐振器中的指条反射阵占据了器件的大部分尺寸.由于剪切横波(SH wave)在材料基片的自由端面反射时不产生模式转换,因此可望利用自由端面来代替SH型声表面波谐振器中的指条反射阵,实现超小型低损耗的新型声表面波谐振器.本文首先用COM理论对新结构的谐振器进行了讨论,并且在实验上实现了120MHz至440MHz的几个单端谐振器(ST36°石英基片),其插入损耗从0.87dB至1.29dB,面积缩小到传统谐振器的50%至25%.
傳統聲錶麵波諧振器中的指條反射陣佔據瞭器件的大部分呎吋.由于剪切橫波(SH wave)在材料基片的自由耑麵反射時不產生模式轉換,因此可望利用自由耑麵來代替SH型聲錶麵波諧振器中的指條反射陣,實現超小型低損耗的新型聲錶麵波諧振器.本文首先用COM理論對新結構的諧振器進行瞭討論,併且在實驗上實現瞭120MHz至440MHz的幾箇單耑諧振器(ST36°石英基片),其插入損耗從0.87dB至1.29dB,麵積縮小到傳統諧振器的50%至25%.
전통성표면파해진기중적지조반사진점거료기건적대부분척촌.유우전절횡파(SH wave)재재료기편적자유단면반사시불산생모식전환,인차가망이용자유단면래대체SH형성표면파해진기중적지조반사진,실현초소형저손모적신형성표면파해진기.본문수선용COM이론대신결구적해진기진행료토론,병차재실험상실현료120MHz지440MHz적궤개단단해진기(ST36°석영기편),기삽입손모종0.87dB지1.29dB,면적축소도전통해진기적50%지25%.