华南理工大学学报(自然科学版)
華南理工大學學報(自然科學版)
화남리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOLGY
2004年
5期
34-37
,共4页
焦耳热效应%集成电路%金属互连%电迁移
焦耳熱效應%集成電路%金屬互連%電遷移
초이열효응%집성전로%금속호련%전천이
采用拟合的方法,并利用DESTIN测试系统,研究了集成电路金属布线电阻与温度的关系;探讨了不同材料、不同尺寸和不同结构金属布线的焦耳热效应;揭示了在加速试验(一定的高电流、高温)条件下金属化自升温较大,必须考虑焦耳热效应作用的原理;解决了已往用环境温度代替测试结构表面实际温度所带来的误差,从而更准确地得到了可靠性分析的结果.
採用擬閤的方法,併利用DESTIN測試繫統,研究瞭集成電路金屬佈線電阻與溫度的關繫;探討瞭不同材料、不同呎吋和不同結構金屬佈線的焦耳熱效應;揭示瞭在加速試驗(一定的高電流、高溫)條件下金屬化自升溫較大,必鬚攷慮焦耳熱效應作用的原理;解決瞭已往用環境溫度代替測試結構錶麵實際溫度所帶來的誤差,從而更準確地得到瞭可靠性分析的結果.
채용의합적방법,병이용DESTIN측시계통,연구료집성전로금속포선전조여온도적관계;탐토료불동재료、불동척촌화불동결구금속포선적초이열효응;게시료재가속시험(일정적고전류、고온)조건하금속화자승온교대,필수고필초이열효응작용적원리;해결료이왕용배경온도대체측시결구표면실제온도소대래적오차,종이경준학지득도료가고성분석적결과.
