微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
1期
26-28
,共3页
微光机电系统%周期可变光栅%形状记忆合金
微光機電繫統%週期可變光柵%形狀記憶閤金
미광궤전계통%주기가변광책%형상기억합금
设计制作了一种用形状记忆合金驱动的周期可变光栅.用硅微细加工技术制作一种类似弹簧结构的光栅,将光栅与形状记忆合金相连.通上电流,合金温度改变引起形变,因此可以拉伸光栅,并改变光栅周期.对合金的形变特性及光栅的衍射特性都作了测试.实验表明,光栅最大可被拉伸10%,衍射角变化为0.32 mrad.
設計製作瞭一種用形狀記憶閤金驅動的週期可變光柵.用硅微細加工技術製作一種類似彈簧結構的光柵,將光柵與形狀記憶閤金相連.通上電流,閤金溫度改變引起形變,因此可以拉伸光柵,併改變光柵週期.對閤金的形變特性及光柵的衍射特性都作瞭測試.實驗錶明,光柵最大可被拉伸10%,衍射角變化為0.32 mrad.
설계제작료일충용형상기억합금구동적주기가변광책.용규미세가공기술제작일충유사탄황결구적광책,장광책여형상기억합금상련.통상전류,합금온도개변인기형변,인차가이랍신광책,병개변광책주기.대합금적형변특성급광책적연사특성도작료측시.실험표명,광책최대가피랍신10%,연사각변화위0.32 mrad.
