计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2005年
1期
5-7,19
,共4页
闫聚群%吴健%高赛%殷纯永
閆聚群%吳健%高賽%慇純永
염취군%오건%고새%은순영
计量学%双频激光干涉仪%高测速%外触发频率
計量學%雙頻激光榦涉儀%高測速%外觸髮頻率
계량학%쌍빈격광간섭의%고측속%외촉발빈솔
新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000 mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求.为此,研制了一种基于5 MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580 mm/s.通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980 mm/s,外触发计数频率达11kHz.
新型驅動電機和高速傳動器件的髮展使得數控機床和三坐標測量機等的運行速度已經達到1000 mm/s,而目前商用外差榦涉儀的測量速度不能完全滿足這一要求.為此,研製瞭一種基于5 MHz頻差雙頻激光器的高測速榦涉儀,理論上的最高測量速度可達1580 mm/s.通過實驗對測量速度和計數頻率進行瞭檢測,結果證明,這種榦涉儀可以達到的最高測量速度為980 mm/s,外觸髮計數頻率達11kHz.
신형구동전궤화고속전동기건적발전사득수공궤상화삼좌표측량궤등적운행속도이경체도1000 mm/s,이목전상용외차간섭의적측량속도불능완전만족저일요구.위차,연제료일충기우5 MHz빈차쌍빈격광기적고측속간섭의,이론상적최고측량속도가체1580 mm/s.통과실험대측량속도화계수빈솔진행료검측,결과증명,저충간섭의가이체도적최고측량속도위980 mm/s,외촉발계수빈솔체11kHz.
