真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
4期
312-314
,共3页
刘明%盛雷梅%葛帅平%范守善
劉明%盛雷梅%葛帥平%範守善
류명%성뢰매%갈수평%범수선
硅纳米线阵列%场发射%金硅合金
硅納米線陣列%場髮射%金硅閤金
규납미선진렬%장발사%금규합금
本文测量了垂直基底方向生长的硅纳米线阵列的场发射性质,并研究了引入金对其场发射性质的影响.引入金后,硅纳米线阵列在10 μA/cm2时的开启电场从4.7 V/μm降到了2.3 V/μm,并且根据Fowler-Nordheim曲线斜率的变化,估算出纳米线阵列的功函数从3.6 eV降到了2.2 eV.
本文測量瞭垂直基底方嚮生長的硅納米線陣列的場髮射性質,併研究瞭引入金對其場髮射性質的影響.引入金後,硅納米線陣列在10 μA/cm2時的開啟電場從4.7 V/μm降到瞭2.3 V/μm,併且根據Fowler-Nordheim麯線斜率的變化,估算齣納米線陣列的功函數從3.6 eV降到瞭2.2 eV.
본문측량료수직기저방향생장적규납미선진렬적장발사성질,병연구료인입금대기장발사성질적영향.인입금후,규납미선진렬재10 μA/cm2시적개계전장종4.7 V/μm강도료2.3 V/μm,병차근거Fowler-Nordheim곡선사솔적변화,고산출납미선진렬적공함수종3.6 eV강도료2.2 eV.
