浅析半导体工厂组装车间内SO2的低浓度化方法
천석반도체공엄조장차간내SO2적저농도화방법
Analysis in Reducing the SO2 in IC Assembly Division
  • 万方数据
    洁净与空调技术 길정여공조기술
    CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
    2005年 4期 53-56 ,共4页

    冯卫中%马玉华

    풍위중%마옥화

    活性碳%化学过滤器%水喷淋 活性碳%化學過濾器%水噴淋
    활성탄%화학과려기%수분림
    分析了SO2对半导体封装工艺的危害,并结合公司示范组装线自投产以来,一直存在净化间SO2浓度波动较大的现象,对示范线净化间内SO2的产生来源进行了大量调查和数据测试,并提出了多项改善探讨.并对上述各改善方案进行了比较分析,提出了解决半导体工厂组装车间内SO2低浓度化的方法.
    분석료SO2대반도체봉장공예적위해,병결합공사시범조장선자투산이래,일직존재정화간SO2농도파동교대적현상,대시범선정화간내SO2적산생래원진행료대량조사화수거측시,병제출료다항개선탐토.병대상술각개선방안진행료비교분석,제출료해결반도체공엄조장차간내SO2저농도화적방법.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문