机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2008年
1期
17-20
,共4页
多晶硅%冶金法%电阻率%晶界%金属硅化物
多晶硅%冶金法%電阻率%晶界%金屬硅化物
다정규%야금법%전조솔%정계%금속규화물
利用四探针电阻测试仪、光学显微镜、扫描电镜、电感耦合等离子发射光谱仪、能谱分析等设备,从晶粒尺寸、组织形态以及晶界析出物等对冶金法制备的多晶硅电阻率的影响.结果表明:组织为等轴晶时,电阻率的大小与晶粒大小成正比;在组织为柱状晶时,平行于柱状晶方向的电阻率明显高于垂直方向的电阻率;在纯度较低的多晶硅中,金属杂质易在晶界处偏析,形成金属硅化物相,降低了多晶硅材料的电阻率.
利用四探針電阻測試儀、光學顯微鏡、掃描電鏡、電感耦閤等離子髮射光譜儀、能譜分析等設備,從晶粒呎吋、組織形態以及晶界析齣物等對冶金法製備的多晶硅電阻率的影響.結果錶明:組織為等軸晶時,電阻率的大小與晶粒大小成正比;在組織為柱狀晶時,平行于柱狀晶方嚮的電阻率明顯高于垂直方嚮的電阻率;在純度較低的多晶硅中,金屬雜質易在晶界處偏析,形成金屬硅化物相,降低瞭多晶硅材料的電阻率.
이용사탐침전조측시의、광학현미경、소묘전경、전감우합등리자발사광보의、능보분석등설비,종정립척촌、조직형태이급정계석출물등대야금법제비적다정규전조솔적영향.결과표명:조직위등축정시,전조솔적대소여정립대소성정비;재조직위주상정시,평행우주상정방향적전조솔명현고우수직방향적전조솔;재순도교저적다정규중,금속잡질역재정계처편석,형성금속규화물상,강저료다정규재료적전조솔.
