仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2009年
6期
8-10,13
,共4页
电容%位移检测%挠性形变
電容%位移檢測%撓性形變
전용%위이검측%뇨성형변
分析了用于PZT形变-力传感-位移量传递模式实时检测的厚膜电容位移传感器的非线性问题,对传感器弹性膜片产生挠性形变以及位移检测带来的非线性问题做了系统的分析并给出了在小挠度形变情况下电容计算公式.仿真结果表明:在电容极板间隙为50μm、膜片厚度为0.55 mm、工作半径为10 mm、膜片中心偏移量为5 μm的情况下,与普通极板电容计算公式相比,采用小挠度形变电容计算公式可使位移检测精度提高4.74%.
分析瞭用于PZT形變-力傳感-位移量傳遞模式實時檢測的厚膜電容位移傳感器的非線性問題,對傳感器彈性膜片產生撓性形變以及位移檢測帶來的非線性問題做瞭繫統的分析併給齣瞭在小撓度形變情況下電容計算公式.倣真結果錶明:在電容極闆間隙為50μm、膜片厚度為0.55 mm、工作半徑為10 mm、膜片中心偏移量為5 μm的情況下,與普通極闆電容計算公式相比,採用小撓度形變電容計算公式可使位移檢測精度提高4.74%.
분석료용우PZT형변-력전감-위이량전체모식실시검측적후막전용위이전감기적비선성문제,대전감기탄성막편산생뇨성형변이급위이검측대래적비선성문제주료계통적분석병급출료재소뇨도형변정황하전용계산공식.방진결과표명:재전용겁판간극위50μm、막편후도위0.55 mm、공작반경위10 mm、막편중심편이량위5 μm적정황하,여보통겁판전용계산공식상비,채용소뇨도형변전용계산공식가사위이검측정도제고4.74%.
