安徽理工大学学报（自然科学版）
安徽理工大學學報（自然科學版）
안휘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2009年
4期
71-76
,共6页
严少平%蒋百灵%张永宏%陈迪春%李洪涛
嚴少平%蔣百靈%張永宏%陳迪春%李洪濤
엄소평%장백령%장영굉%진적춘%리홍도
类石墨镀层%微观结构%显微硬度
類石墨鍍層%微觀結構%顯微硬度
류석묵도층%미관결구%현미경도
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调节Cr靶的溅射功率,在单晶硅基片上沉积制备了一系列不同Cr含量的类石墨(Cr-GLC)镀层样品.利用Raman光谱仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子电镜(TEM)、显微硬度计分析了Cr-GLC的微观结构和显微硬度.结果表明,利用非平衡磁控溅射得到的Cr-GLC镀层,随Cr含量的增高,硬度逐渐降低并趋于稳定.当Cr含量小于4%时,Cr只以单质非晶态分布于非晶GLC中,Cr的掺杂降低了内应力;当Cr含量超过4%后,还有CrCx纳米晶存在于非晶态的GLC中;镀层由C、Cr和CrCx纳米晶粒组成非晶结构.
採用非平衡磁控濺射離子鍍技術,通過調節Cr靶的濺射功率,在單晶硅基片上沉積製備瞭一繫列不同Cr含量的類石墨(Cr-GLC)鍍層樣品.利用Raman光譜儀、X射線光電子能譜(XPS)、透射電子電鏡(TEM)、顯微硬度計分析瞭Cr-GLC的微觀結構和顯微硬度.結果錶明,利用非平衡磁控濺射得到的Cr-GLC鍍層,隨Cr含量的增高,硬度逐漸降低併趨于穩定.噹Cr含量小于4%時,Cr隻以單質非晶態分佈于非晶GLC中,Cr的摻雜降低瞭內應力;噹Cr含量超過4%後,還有CrCx納米晶存在于非晶態的GLC中;鍍層由C、Cr和CrCx納米晶粒組成非晶結構.
채용비평형자공천사리자도기술,통과조절Cr파적천사공솔,재단정규기편상침적제비료일계렬불동Cr함량적류석묵(Cr-GLC)도층양품.이용Raman광보의、X사선광전자능보(XPS)、투사전자전경(TEM)、현미경도계분석료Cr-GLC적미관결구화현미경도.결과표명,이용비평형자공천사득도적Cr-GLC도층,수Cr함량적증고,경도축점강저병추우은정.당Cr함량소우4%시,Cr지이단질비정태분포우비정GLC중,Cr적참잡강저료내응력;당Cr함량초과4%후,환유CrCx납미정존재우비정태적GLC중;도층유C、Cr화CrCx납미정립조성비정결구.
