真空
真空
진공
VACUUM
2011年
1期
1-8
,共8页
李建昌%王永%简晓慧%巴德纯
李建昌%王永%簡曉慧%巴德純
리건창%왕영%간효혜%파덕순
四探针%微观四点探针%探针制备%表面电导率
四探針%微觀四點探針%探針製備%錶麵電導率
사탐침%미관사점탐침%탐침제비%표면전도솔
四探针法是材料学及半导体行业电学表征的常用方法.随着微电子器件尺度持续减小,新型纳米材料研究不断深入,须将探针间距控制到亚微米及其以下范畴才能获得更高的空间分辨率和表面灵敏度.近年来研究人员借助显微技术开发出两类微观四点探针测试系统,即整体式微观四点探针和独立四点扫描隧道显微镜探针系统,随着现代微加工技术的发展,当前探针间距已缩小到几十纳米范围.本文综述了微观四点探针技术近年来的研究进展,主要包括测试理论、系统结构与探针制备.其中,特别详述了涉及探针制备的方法、技术及所面临问题,并展望了微观四点探针研究的发展方向,并给出了一些具体建议.
四探針法是材料學及半導體行業電學錶徵的常用方法.隨著微電子器件呎度持續減小,新型納米材料研究不斷深入,鬚將探針間距控製到亞微米及其以下範疇纔能穫得更高的空間分辨率和錶麵靈敏度.近年來研究人員藉助顯微技術開髮齣兩類微觀四點探針測試繫統,即整體式微觀四點探針和獨立四點掃描隧道顯微鏡探針繫統,隨著現代微加工技術的髮展,噹前探針間距已縮小到幾十納米範圍.本文綜述瞭微觀四點探針技術近年來的研究進展,主要包括測試理論、繫統結構與探針製備.其中,特彆詳述瞭涉及探針製備的方法、技術及所麵臨問題,併展望瞭微觀四點探針研究的髮展方嚮,併給齣瞭一些具體建議.
사탐침법시재료학급반도체행업전학표정적상용방법.수착미전자기건척도지속감소,신형납미재료연구불단심입,수장탐침간거공제도아미미급기이하범주재능획득경고적공간분변솔화표면령민도.근년래연구인원차조현미기술개발출량류미관사점탐침측시계통,즉정체식미관사점탐침화독립사점소묘수도현미경탐침계통,수착현대미가공기술적발전,당전탐침간거이축소도궤십납미범위.본문종술료미관사점탐침기술근년래적연구진전,주요포괄측시이론、계통결구여탐침제비.기중,특별상술료섭급탐침제비적방법、기술급소면림문제,병전망료미관사점탐침연구적발전방향,병급출료일사구체건의.
